触針式段差計（加工評価室）
最終更新日：2024年4月2日
| 設備ID | KT-333 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 触針式段差計（加工評価室） (Stylus Profilometer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | Veeco社(株)アルバック (Veeco Instruments Inc.ULVAC, Inc.) |
| 型番 | Dektak150 |
| キーワード | 膜厚測定 段差計/ Step meter |
| 仕様・特徴 | (株)アルバック社製 Dektak150 垂直分解能(最高) 0.1nm 測定距離 50μm～55mm サンプルステージサイズ 直径 150mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-333 |
