接触式シート抵抗測定器
| 設備ID | KT-331 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 接触式シート抵抗測定器 (4 Point Probe Sheet Resistance Measurement System) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | ナプソン(株) (NAPSON CORPORATION) |
| 型番 | Cresbox |
| キーワード | シート抵抗測定 |
| 仕様・特徴 | ナプソン株式会社 Cresbox 4探針法、10m~10MG/sq、2~8インチウェハ対応 マッピングソフトウェア |
