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半導体パラメータアナライザ

最終更新日:2024年4月2日
設備ID KT-329
分類 デバイス特性 > 電気特性評価
設備名称 半導体パラメータアナライザ (Semiconductor Parameter Analyzer)
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 ケースレーインスツルメンツ(株) (Keithley Instruments, Inc.)
型番 4200-SCS
キーワード 電気特性評価/ Electrical characterization
仕様・特徴 最大200V印加、電流上限:2W/印加
電流最小分解能:0.1fA
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-329
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