インピーダンスアナライザ
最終更新日：2022年6月9日
| 設備ID | KT-320 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 設備名称 | インピーダンスアナライザ (Precision Impedance Analyzer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | アジレント・テクノロジー(株) (Agilent Technologies, Inc.) |
| 型番 | 4294A |
| キーワード | 電気特性測定 |
| 仕様・特徴 | アジレント・テクノロジー(株)社製 4294A 基本インピーダンス確度 ±0.08% 周波数 40Hz～110MHz 真空プローバ；カスケード・マイクロテック社製 PLV50 チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板 ほか チャック温度：-40～+200℃ 真空チャンバー 制御圧力：10～10-2Pa |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-320 |
