真空プローバ
| 設備ID | KT-318 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | 真空プローバ (Vacuum Probe System) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | カスケード・マイクロテック(株) (Cascade Microtech, Inc.) |
| 型番 | PLV50 |
| キーワード | 真空、加熱雰囲気下での電気測定 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | Φ150mm基板まで対応できるマニュアルプローブシステム (-40℃～+200℃過調制御可能) ・チャックサイズ：Φ150mm，Φ100mm，小片基板 ほか ・チャック温度：-40～+200℃ ・真空チャンバー 制御圧力：10～10-2Pa |
