プローバ
| 設備ID | KT-317 |
|---|---|
| 分類 | デバイス特性 > 電気特性評価 |
| 装置名称 | プローバ (Prober) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)日本マイクロニクス (MICRONICS JAPAN CO., LTD.) |
| 型番 | Model 708fT |
| キーワード | マニュアルプローバ 電気特性評価/ Electrical characterization |
| 仕様・特徴 | 微小電流(ｆAレベル)領域の解析・評価を行うためのマニュアルプローバ ・マニュアルタイプ ・ウエハサイズ ～Φ200mm |
