FIB加工装置（JEM-9320FIB）
最終更新日：2024年4月19日
| 設備ID | NM-511 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 設備名称 | FIB加工装置（JEM-9320FIB） (Focused Ion Beam systems) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS千現地区 精密計測実験棟115号室 |
| メーカー名 | 日本電子 (JEOL) |
| 型番 | JEM-9320FIB |
| キーワード | 電子顕微鏡薄片加工 Gaイオンビーム |
| 仕様・特徴 | ・FIB：加速電圧5~30 kV、最大電流30nA ・分解能：6nm (@30kV) |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-511 |
