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3D測定レーザー顕微鏡

最終更新日:2022年6月9日
設備ID KT-306
分類 光学顕微鏡 > その他
設備名称 3D測定レーザー顕微鏡 (3D Measuring Laser Microscope )
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 オリンパス(株) (Olympus Corporation)
型番 OLS4000-SAT
キーワード 三次元形状測定
仕様・特徴 オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT
平面測定精度 繰り返し性:3σn-1=0.02μm(100X)
正確さ:測定値の±2%
高さ測定精度 繰り返し性:σn-1=0.012μm(50X)
正確さ:0.2+L/100μm以下(L=測定長μm)
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-306
    3D測定レーザー顕微鏡
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