3D測定レーザー顕微鏡
| 設備ID | KT-306 |
|---|---|
| 分類 | 光学顕微鏡 > その他 |
| 装置名称 | 3D測定レーザー顕微鏡 (3D Measuring Laser Microscope ) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | オリンパス(株) (Olympus Corporation) |
| 型番 | OLS4000-SAT |
| キーワード | 三次元形状測定 |
| 仕様・特徴 | オリンパス(株)社製 OLS4000-SAT 平面測定精度 繰り返し性：3σn-1=0.02μm(100X) 正確さ:測定値の±2% 高さ測定精度 繰り返し性：σn-1=0.012μm(50X) 正確さ:0.2+L/100μm以下（L=測定長μm） |
