超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡
| 設備ID | KT-301 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 装置名称 | 超高分解能電界放出形走査電子顕微鏡 (Ultra-High Resolution Filed Emission SEM) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Technologies Corporation) |
| 型番 | SU8000 |
| キーワード | 電子顕微鏡 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 絶縁物試料は、チャージアップ抑制機能を用いて観察可能 通常の二次電子像に加え、組成コントラスト、電位コントラストでの像取得が可能 ・像分解能 1.0nm@15kV 1.4nm@1kV ・取得可能像 二次電子像,組成像,透過像,透過暗視野像 ・試料サイズ Max100mmΦ,高さ30mm以下 |
