ダイシング装置
| 設備ID | KT-256 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 装置名称 | ダイシング装置 (Automatic Dicing Saw) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 桂キャンパス |
| メーカー名 | (株)ディスコ (DISCO Corporation) |
| 型番 | DAD322 |
| キーワード | ウェハ切断 ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | ディスコ社製 DAD322 6インチウェハまで対応 1.5ｋWエアースピンドル |
