ダイシング装置
最終更新日：2024年4月2日
| 設備ID | KT-256 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | ダイシング装置 (Automatic Dicing Saw) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 桂キャンパス |
| メーカー名 | (株)ディスコ (DISCO Corporation) |
| 型番 | DAD322 |
| キーワード | ウェハ切断 ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | ディスコ社製 DAD322 6インチウェハまで対応 1.5ｋWエアースピンドル |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-256 |
