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ナノインプリント装置

設備ID	KT-255
分類	リソグラフィ > ナノインプリント
装置名称	ナノインプリント装置 (Nanoimprint Lithography)
設置機関	京都大学
設置場所	京都大学桂キャンパス
メーカー名	(株)マルニ (MARUNI CO., LTD.)
型番	TP-32937
キーワード	ナノインプリント
仕様・特徴	国内で最も多く普及しているエアプレス動きを油圧で制御するハイチェック機構付き4インチウエハ対応・4インチウェハ