ナノインプリント装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | KT-255 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > ナノインプリント |
| 設備名称 | ナノインプリント装置 (Nanoimprint Lithography) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 桂キャンパス |
| メーカー名 | (株)マルニ (MARUNI CO., LTD.) |
| 型番 | TP-32937 |
| キーワード | ナノインプリント |
| 仕様・特徴 | 国内で最も多く普及しているエアプレス動きを油圧で制御するハイチェック機構付き4インチウエハ対応 ・4インチウェハ |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-255 |
