パリレン成膜装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | KT-251 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > その他 |
| 設備名称 | パリレン成膜装置 (Parylene Coater) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 桂キャンパス |
| メーカー名 | 日本パリレン合同会社 (Specialty Coating Systems Inc.) |
| 型番 | LABCOTER PDS-2010 |
| キーワード | パリレンの極膜コーティング |
| 仕様・特徴 | 全面に均一な極薄コーティングが可能であり、微細な隙間中なども均一にカバーする。 ・蒸着室有効内容積：215mm（径）×270mm（高さ） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-251 |
