水蒸気プラズマクリーナー
| 設備ID | KT-231 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 装置名称 | 水蒸気プラズマクリーナー (Aqua Plasma Cleaner) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | サムコ(株) (Samco Inc.) |
| 型番 | AQ-500KU |
| キーワード | 水蒸気プラズマによる表面処理 プラズマ処理/ Plasma treatment |
| 仕様・特徴 | サムコ株式会社 Aqua Plasma クリーナー AQ-500KU 水蒸気（H2O）を用いたプラズマ処理 樹脂接合、金属酸化膜の還元、有機洗浄、超親水性処理 200mm角試料まで対応 |
