共用設備検索

UVオゾンクリーナー・キュア装置

最終更新日:2022年6月9日
設備ID KT-230
分類 表面処理・洗浄 > その他
設備名称 UVオゾンクリーナー・キュア装置 (UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment)
設置機関 京都大学
設置場所 京都大学 吉田キャンパス
メーカー名 サムコ(株) (Samco Inc.)
型番 UV-300HKU
キーワード ウェハ表面クリーニング
仕様・特徴 サムコ株式会社 UV-300HKU
UVランプと高濃度オゾナイザを備える
Φ8インチウェハ対応
O2、N2ガス
ステージ加熱:室温~300℃
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-230
    UVオゾンクリーナー・キュア装置
    UVオゾンクリーナー・キュア装置
印刷する
PAGE TOP
スマートフォン用ページで見る