UVオゾンクリーナー・キュア装置
最終更新日:2022年6月9日
設備ID | KT-230 |
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分類 | 表面処理・洗浄 > その他 |
設備名称 | UVオゾンクリーナー・キュア装置 (UV Ozone Cleaner & DeepUV Cure Equipment) |
設置機関 | 京都大学 |
設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
メーカー名 | サムコ(株) (Samco Inc.) |
型番 | UV-300HKU |
キーワード | ウェハ表面クリーニング |
仕様・特徴 | サムコ株式会社 UV-300HKU UVランプと高濃度オゾナイザを備える Φ8インチウェハ対応 O2、N2ガス ステージ加熱:室温~300℃ |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-230 |