エキスパンド装置
| 設備ID | KT-222 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 装置名称 | エキスパンド装置 (Die Matrix Expander) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)テクノビジョン (Technovision, Inc.) |
| 型番 | TEX-21BG GR-5 |
| キーワード | ダイシング後のウェハを粘着テープから引き外す ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | ダイシングされたウエハーを粘着フィルムごとX-Y方向に均一に引き伸ばし拡張する装置。 ・基板サイズ Wafer Φ6以下 |
