紫外線照射装置
| 設備ID | KT-221 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 装置名称 | 紫外線照射装置 (UV Curing System) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)テクノビジョン (Technovision, Inc.) |
| 型番 | LED-4082 |
| キーワード | ダイシング用フィルム粘着力低減し、ピックアップ性向上 ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | LEDを光源として特定波長の紫外線を照射することにより、UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、 ダイボンディング時のピックアップ性を高めることを目的とした装置 ・UV硬化フィルムなどの粘着力を低下させ、 ダイボンディング時のピックアップ性を高める装置 ・基板サイズ Wafer Φ6以下 |
