真空マウンター
| 設備ID | KT-220 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 装置名称 | 真空マウンター (Wafer Vacuum Mounter) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | 日本電気(株) (NEC Corporation) |
| 型番 | VTL-201 |
| キーワード | ダイシング用ウェハ貼り付け ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | 低真空圧力環境下でウエハーに粘着テープを貼り付ける装置 ・基板サイズ Wafer Φ6以下 |
