レーザダイシング装置
最終更新日：2024年4月2日
| 設備ID | KT-218 |
|---|---|
| 分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
| 設備名称 | レーザダイシング装置 (Laser Stealth Dicer) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)東京精密 (TOKYO SEIMITSU CO., LTD.) |
| 型番 | Mahoh Dicer ML200 |
| キーワード | ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
| 仕様・特徴 | 完全ドライプロセスに対応したSi専用のダイシングマシン。 ・基板サイズ：MAX Φ6 ・高速切断可（300mm/sec） ・エンジン：浜松ホトニクス製 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-218 |
