レーザダイシング装置
設備ID | KT-218 |
---|---|
分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
装置名称 | レーザダイシング装置 (Laser Stealth Dicer) |
設置機関 | 京都大学 |
設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
メーカー名 | (株)東京精密 (TOKYO SEIMITSU CO., LTD.) |
型番 | Mahoh Dicer ML200 |
キーワード | ダイシング、スクライバ/ Dicing and scriber |
仕様・特徴 | 完全ドライプロセスに対応したSi専用のダイシングマシン。 ・基板サイズ:MAX Φ6 ・高速切断可(300mm/sec) ・エンジン:浜松ホトニクス製 |