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光造形3Dプリンター  (Stereolithography 3D printer)

設備ID
TU-268
設置機関
東北大学
設備画像
光造形3Dプリンター
メーカー名
Seaforce (Seaforce)
型番
028J plus
仕様・特徴
最小積層ピッチ:0.01mm、最大造形サイズ:90mm x 90mm x 90mm

サブフェムト・インクジェット (Sub-femto inkjet)

設備ID
TU-267
設置機関
東北大学
設備画像
サブフェムト・インクジェット
メーカー名
SIJテクノロジー (SIJテクノロジー)
型番
PR150-THU
仕様・特徴
最小線幅:約5μm

気相フッ酸エッチング装置 (Vapor Phase HF Etcher )

設備ID
UT-602
設置機関
東京大学
設備画像
気相フッ酸エッチング装置
メーカー名
IDONUS (IDONUS)
型番
仕様・特徴
8インチ装置、Vapor HF専用、気相フッ化水素(HF水溶液を蒸発)によって、選択的にシリコン酸化膜をエッチングし、MEMSデバイスの可動構造体、中空構造を形成するための装置です。独自構造によって、フッ酸に直接触れることなく、安全に利用することができます。静電チャックによって、任意形状の基板をチャック下エッチングのほか、4,6,8インチの丸ウエーハは機械的クランプを行えます。

樹脂3Dプリンタ (3D Printer using hot-melt plastic ink)

設備ID
UT-950
設置機関
東京大学
設備画像
樹脂3Dプリンタ
メーカー名
Afinia (Afinia)
型番
H800
仕様・特徴
熱抽出による三次元構造作製が可能。治具作製に最適。

インクジェットパターン形成装置 (Inkjet Printer)

設備ID
BA-010
設置機関
筑波大学
設備画像
インクジェットパターン形成装置
メーカー名
SIJテクノロジ (SIJTechnology)
型番
STO50-TBD01
仕様・特徴
最小吐出量;0.1fl
最小ライン;0.6μm
分解能;0.1μm
位置精度;±0.2μm

工作室加工成形装置群 (machine shop)

設備ID
JI-018
設置機関
北陸先端科学技術大学院大学(JAIST)
設備画像
工作室加工成形装置群
メーカー名
 ()
型番
仕様・特徴
各種工作機械(主なものは下記)
マシニングセンター
ワイヤー放電加工機
旋盤
レーザー加工機
3Dプリンタ
その他

ウォーターレーザ (Water laser)

設備ID
TU-270
設置機関
東北大学
設備画像
ウォーターレーザ
メーカー名
澁谷工業 (Shibuya)
型番
LAMICS AQL-1900
仕様・特徴
サンプルサイズ:小片~12インチ
最小加工線幅:約70μm
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