熱酸化炉
| 設備ID | KT-207 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 酸化 |
| 装置名称 | 熱酸化炉 (Thermal Oxidation Furnace ) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | 光洋サーモシステム(株) (Koyo Thermo Systems Co., Ltd.) |
| 型番 | MT-8X28-A |
| キーワード | 酸化膜形成 酸化/ Oxidation |
| 仕様・特徴 | ドライまたはウェット状態でウエハの高温加熱が可能（常用最高温度1,050℃） ・基板サイズ：MAXΦ6×25枚/バッチ ・常用最高温度：1,050℃ ・雰囲気：N2、O2（乾燥または湿潤状態） |
