集束イオンビーム走査電子顕微鏡
| 設備ID | KT-206 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） |
| 装置名称 | 集束イオンビーム走査電子顕微鏡 (Cross-Beam with Focused Ion Beam and FE-SEM ) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | エスアイアイ・ナノテクノロジー(株) (SII NanoTechnology Inc.) |
| 型番 | NVision40PI |
| キーワード | 走査型電子顕微鏡/ Scanning electron microscopy |
| 仕様・特徴 | 高性能FIBとFE-SEMのクロスビーム装置（各種分析機能付）。 ・基板サイズ：MAX Φ30mm ・検出器：SE×2（インレンズSE、チャンバーSE）、反射電子（EsB） ・ガスインジェクションシステム：C、W、SiOx ・マイクロプロービングシステム ・EDX/EBSDインテグレーションシステム：EDAX Pegasus ・ピコインデンターシステム |
