共用設備検索

超臨界洗浄・乾燥装置

設備ID	KT-117
分類	熱処理・ドーピング > その他
装置名称	超臨界洗浄・乾燥装置 (Supercritical Rinser & Dryer)
設置機関	京都大学
設置場所	京都大学吉田キャンパス
メーカー名	(株)レクザム (Rexxam Co., Ltd.)
型番	SCRD401
キーワード	微細構造物の洗浄・乾燥
仕様・特徴	超臨界CO₂により微細構造物を変形・破壊せずに洗浄・乾燥が可能。・基板サイズ：MAXΦ4