ウエハスピン洗浄装置
| 設備ID | KT-111 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > レジスト処理装置 |
| 装置名称 | ウエハスピン洗浄装置 (Wafer Spin Cleaner ) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)カナメックス (KANAMEX Co., Ltd.) |
| 型番 | KSC-150CBU |
| キーワード | レジスト洗浄 レジスト処理装置/ Resist processing |
| 仕様・特徴 | 汎用的な枚葉式ウエハ洗浄装置。 ・基板サイズ：Φ2-Φ6、□2.5、□5、□7、不定形 ・洗浄方式：ピラニア、メガソニック、２流体、純水 |
