露光装置（ステッパー）
最終更新日：2024年4月2日
| 設備ID | KT-102 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > 光露光（ステッパ） |
| 設備名称 | 露光装置（ステッパー） (i-line Stepper) |
| 設置機関 | 京都大学 |
| 設置場所 | 京都大学 吉田キャンパス |
| メーカー名 | (株)ニコン (NIKON CORPORATION) |
| 型番 | NSR-2205i11D |
| キーワード | レジストパターニング i線描画 光露光（ステッパ）/ Optical exposure (stepper) |
| 仕様・特徴 | i線光源を用いたステップアンドリピート方式の縮小投影露光装置。 ・解像度：<0.35μm ・光源：i線（365nm） ・絞り：通常、輪帯、Shrink ・縮小倍率：1/5倍（N.A. 0.63、0.57） ・露光範囲：MAX □22mm ・アライメント：LSA、FIA ・基板サイズ：Φ4,Φ6（透明基板対応） |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=KT-102 |
