Deep Si Etcher
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-256 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | Deep Si Etcher (Deep Si Etcher) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 超高圧高温発生装置室 |
| メーカー名 | 住友精密工業 (Sumitomo Precision Products) |
| 型番 | Multiplex-ASE |
| キーワード | Boshプロセス Siエッチング 深堀 |
| 仕様・特徴 | ・ウェーハサイズ：6 inch ・ボッシュプロセス対応 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-256 |
