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Deep Si Etcher

設備ID	NU-256
分類	膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称	Deep Si Etcher (Deep Si Etcher)
設置機関	名古屋大学
設置場所	超高圧高温発生装置室
メーカー名	住友精密工業 (Sumitomo Precision Products)
型番	Multiplex-ASE
キーワード	Boshプロセス Siエッチング深堀
仕様・特徴	・ウェーハサイズ：6 inch ・ボッシュプロセス対応