SEM用断面試料作製装置
| 設備ID | NU-253 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（断面加工） |
| 装置名称 | SEM用断面試料作製装置 (Cross section polisher) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | IB電子情報館西棟5階 |
| メーカー名 | JEOL (JEOL) |
| 型番 | SM-09010 |
| キーワード | SEM断面作製 |
| 仕様・特徴 | ・イオン加速電圧：2～6 kV ・イオンビーム径：500 μm（半値幅） ・最大搭載試料サイズ：幅11 mm × 長さ10 mm × 厚さ2 mm ・試料移動範囲：X軸：±3 mm，Y軸：±3 mm |
