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パリレンコーティング装置

設備ID	NU-248
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称	パリレンコーティング装置 (Parylene coating system)
設置機関	名古屋大学
設置場所	IB電子情報館西棟5階
メーカー名	KISCO (KISCO)
型番	DACS-LAB
キーワード	パリレン成膜
仕様・特徴	・蒸着チャンバー寸法：ID300×H350 mm ・回転：0.5～10rpm