パリレンコーティング装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-248 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | パリレンコーティング装置 (Parylene coating system) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | IB電子情報館西棟5階 |
| メーカー名 | KISCO (KISCO) |
| 型番 | DACS-LAB |
| キーワード | パリレン成膜 |
| 仕様・特徴 | ・蒸着チャンバー寸法：ID300×H350 mm ・回転：0.5～10rpm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-248 |
