ナノインプリント装置
| 設備ID | NU-247 |
|---|---|
| 分類 | リソグラフィ > ナノインプリント |
| 装置名称 | ナノインプリント装置 (Nanoimprint) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | IB電子情報館西棟5階 |
| メーカー名 | SCIVAX (SCIVAX) |
| 型番 | X-300 BVU-ND |
| キーワード | 熱ナノインプリント UVナノインプリント |
| 仕様・特徴 | ・形式：熱式，UV式 ・最大ワークサイズ：Φ150 mm ・最大荷重：50 kN ・最高仕様温度：250℃，650℃ ・UV機能：波長 365 nm／385 nm ・有効照射面積：□100 mm |
