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真空紫外吸収分光計

最終更新日:2022年4月9日
設備ID NU-243
分類 状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > 紫外・可視分光
設備名称 真空紫外吸収分光計 (Ultraviolet absorption spectroscopy )
設置機関 名古屋大学
設置場所 低温プラズマ科学研究センター
メーカー名 NUシステム (NU System)
型番 特注
キーワード 真空紫外吸収分光
プラズマ診断
ラジカル密度計測
仕様・特徴 ・プラズマ診断用
・真空チャンバー壁面に設置
・H,O,N,Cラジカル密度計測可
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-243
    真空紫外吸収分光計
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