真空紫外吸収分光計
最終更新日:2022年4月9日
設備ID | NU-243 |
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分類 | 状態分析(各種分光法(元素分析・振動モード・電子状態)を含む) > 紫外・可視分光 |
設備名称 | 真空紫外吸収分光計 (Ultraviolet absorption spectroscopy ) |
設置機関 | 名古屋大学 |
設置場所 | 低温プラズマ科学研究センター |
メーカー名 | NUシステム (NU System) |
型番 | 特注 |
キーワード | 真空紫外吸収分光 プラズマ診断 ラジカル密度計測 |
仕様・特徴 | ・プラズマ診断用 ・真空チャンバー壁面に設置 ・H,O,N,Cラジカル密度計測可 |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-243 |