in-situプラズマ照射表面分析装置
| 設備ID | NU-240 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > プラズマ処理 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 装置名称 | in-situプラズマ照射表面分析装置 (In-situ plasma exposure and analysis system) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 低温プラズマ科学研究センター |
| メーカー名 | 自作 (Lab made) |
| 型番 | |
| キーワード | プラズマ処理 X線光電子分光 FTIR |
| 仕様・特徴 | ・プラズマ照射後の表面のin-situ XPS，FT-IR，STM分析が可能． ・プロセスガス：H2，N2，O2，Ar，He，SiH4，SF6，CF4 |
