表面解析プラズマビーム装置
| 設備ID | NU-239 |
|---|---|
| 分類 |
表面処理・洗浄 > プラズマ処理 状態分析（各種分光法（元素分析・振動モード・電子状態）を含む） > X線光電子分光 （XPS（硬X線を含む）） |
| 装置名称 | 表面解析プラズマビーム装置 (Plasma beam system with surface analysis) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 低温プラズマ科学研究センター |
| メーカー名 | 自作 (Lab made) |
| 型番 | |
| キーワード | プラズマ処理 X線光電子分光 |
| 仕様・特徴 | ・プラズマビームを材料表面に照射後のin-situ XPS評価により，表面-プラズマ間の反応の解析が可能． ・使用ガス：HBr，Ar，CF4，C4F8，Cl2，H2，N2，O2 |
