超高密度大気圧プラズマ装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-235 |
|---|---|
| 分類 | 表面処理・洗浄 > プラズマ処理 |
| 設備名称 | 超高密度大気圧プラズマ装置 (Ultra-high density atomospheric pressure plasma system) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 低温プラズマ科学研究センター |
| メーカー名 | FUJI (FUJI) |
| 型番 | 特注 |
| キーワード | 大気圧プラズマ プラズマ処理 ラジカル処理 |
| 仕様・特徴 | ・大気圧プラズマ中のラジカルを用いた材料の表面処理（改質、洗浄） ・使用ガス：Ar，N2．Ar+O2 ・電源：AC交流電源、9 kV，60 Hz |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-235 |
