段差計
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最終更新日：2024年8月28日
| 設備ID | NU-230 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 設備名称 | 段差計 (Surface profiler) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | ベンチャービジネスラボラトリ |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | Dektak150 |
| キーワード | 段差計 |
| 仕様・特徴 | ・触針式 ・垂直分解能：10nm ・測定距離：50 µm～55 mm |
| 設備状況 | 共用を終了した設備です |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-230 |
