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スパッタ絶縁膜作製装置

設備ID	NU-229
分類	成膜装置 > スパッタリング（スパッタ）
装置名称	スパッタ絶縁膜作製装置 (Insulator sputtering system)
設置機関	名古屋大学
設置場所	ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名	MESアフティ (MES Afty)
型番	AFTEX-3420
キーワード	ECRスパッタ成膜
仕様・特徴	・対応基板サイズ：最大3インチ・酸化膜，窒化膜用