スパッタ絶縁膜作製装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-229 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > スパッタリング（スパッタ） |
| 設備名称 | スパッタ絶縁膜作製装置 (Insulator sputtering system) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | ベンチャービジネスラボラトリ |
| メーカー名 | MESアフティ (MES Afty) |
| 型番 | AFTEX-3420 |
| キーワード | ECRスパッタ 成膜 |
| 仕様・特徴 | ・対応基板サイズ：最大3インチ ・酸化膜，窒化膜用 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-229 |
