走査型電子顕微鏡
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-227 |
|---|---|
| 分類 | 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | 走査型電子顕微鏡 (Scanning electron microscope) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | ベンチャービジネスラボラトリ |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | S5200 |
| キーワード | 表面形状分析 インレンズ 組成分析 |
| 仕様・特徴 | ・加速電圧：0.5kV～30kV ・分解能：0.5nm(30kV) ・倍率：～2,000,000 ・最大試料サイズ：5mm x 9.5mm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-227 |
