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ICPエッチング装置
設備ID
NU-225
分類
膜加工・エッチング > プラズマエッチング
装置名称
ICPエッチング装置 (ICP etching)
設置機関
名古屋大学
設置場所
ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名
アルバック (ULVAC)
型番
CE-300I
キーワード
塩素エッチング
仕様・特徴
・化合物エッチング
・対応基板サイズ:最大6インチ基板
・プロセスガス:Cl
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