セラミックス試料作製装置群
最終更新日：2023年9月20日
| 設備ID | NM-407 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | セラミックス試料作製装置群 (Ceramics sample preparation facilities) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟 110号室 |
| メーカー名 | ガタン日立ハイテク真空デバイスマルトーTECHNOORG-LINDA (GatanHitachi High-TechVacuum DeviceMarutoTECHNOORG-LINDA) |
| 型番 | 695PIPS II（精密イオン研磨装置）656 DimpleGrinder（ディンプルグラインダ）TM4000Plus II（卓上SEM）VES-30T（マルチコーター）ML-180 DoctorLap（卓上研磨機）MS2 MICROSAW（小型精密切断器） |
| キーワード | 透過電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製 |
| 仕様・特徴 | ・精密イオン研磨装置：イオンビームエネルギー: 0.1～8 keV、試料冷却が可能、観察用デジタルズームカメラ付属 ・ディンプルグラインダ：研磨ホイール径 15 mm、研磨荷重 0～40 g、自動停止機構付属 ・卓上SEM：加速電圧：5－20kV、二次電子検出器および反射電子検出器 ・マルチコーター：蒸着、イオンスパッタ、親水化処理 ・卓上研磨機：研磨回転数 50～500 rpm ・小型精密切断器：50mmダイヤモンド回転刃 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-407 |
