電子ビーム蒸着装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-224 |
|---|---|
| 分類 | 成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線) |
| 設備名称 | 電子ビーム蒸着装置 (Electron beam evaporation) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | ベンチャービジネスラボラトリ |
| メーカー名 | アルバック (ULVAC) |
| 型番 | EBX-10D |
| キーワード | EB蒸着 |
| 仕様・特徴 | ・最大投入電力：5kW ・るつぼ数4 ・ハースライナー使用 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-224 |
