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電子ビーム蒸着装置

設備ID	NU-224
分類	成膜装置 > 蒸着(抵抗加熱、電子線)
装置名称	電子ビーム蒸着装置 (Electron beam evaporation)
設置機関	名古屋大学
設置場所	ベンチャービジネスラボラトリ
メーカー名	アルバック (ULVAC)
型番	EBX-10D
キーワード	EB蒸着
仕様・特徴	・最大投入電力：5kW ・るつぼ数4 ・ハースライナー使用