小型微細形状測定機
| 設備ID | NU-220 |
|---|---|
| 分類 | 膜厚・粒度測定 > 段差計 |
| 装置名称 | 小型微細形状測定機 (Surface profiler) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
| メーカー名 | 小坂研究所 (Kosaka Laboratory) |
| 型番 | ET200 |
| キーワード | 段差計 |
| 仕様・特徴 | ・最大サンプルサイズ：φ160×厚さ48mm ・再現性 ：1σ 1nm以内 ・測定範囲 ：Z：600 µm，X：100mm ・分解能 ：Z：0.1 nm，X：0.1 µm ・測定力：10 µN〜500 µN |
