ARIM Japanホームページ
本文へ移動する
事業について
About this site
事業について
目的
実施・推進体制
7つの重要技術領域
設備検索
データ提供
利用報告書
利用方法
ニュース・イベント
Events/News
ニュース・イベント
ニュース
イベント
お問い合わせ
技術サポート・機器利用
データ提供
事業に関するご意見・ご要望
ENGLISH
共用設備検索
ホーム
>
共用設備検索
酸化・拡散炉
設備ID
NU-219
分類
熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称
酸化・拡散炉 (Oxidization and diffusion furnance)
設置機関
名古屋大学
設置場所
先端技術共同研究施設
メーカー名
光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg)
型番
MODEL270-M100
キーワード
ウエット酸化
仕様・特徴
・温度範囲:600-1150℃
・ウェット酸化用
印刷する
スマートフォン用ページで見る