酸化・拡散炉
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-219 |
|---|---|
| 分類 | 熱処理・ドーピング > 酸化 |
| 設備名称 | 酸化・拡散炉 (Oxidization and diffusion furnance) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
| メーカー名 | 光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg) |
| 型番 | MODEL270-M100 |
| キーワード | ウエット酸化 |
| 仕様・特徴 | ・温度範囲：600-1150℃ ・ウェット酸化用 |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-219 |
