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電気炉

設備ID	NU-218
分類	熱処理・ドーピング > 酸化
装置名称	電気炉 (Electric furnance)
設置機関	名古屋大学
設置場所	先端技術共同研究施設
メーカー名	光洋リンドバーグ (KOYO Lindberg)
型番	MODEL272-2
キーワード	ドライ酸化
仕様・特徴	・温度範囲：400-1100℃ ・ドライ酸化用

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