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スプレーコーター

最終更新日:2022年4月9日
設備ID NU-216
分類 成膜装置 > コーター(スピン、ディップ、スプレイなど)
設備名称 スプレーコーター (Spray coater)
設置機関 名古屋大学
設置場所 先端技術共同研究施設
メーカー名 サンメイ (Sunmay)
型番 DC110
キーワード スプレーコーティング
仕様・特徴 ・対応サイズ:最大 □220 mm
・移動範囲:縦横300 mm
・移動速度:10~200 mm/秒
・粒子径:約5~15 µm
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-216
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