ECR-SIMSエッチング装置
最終更新日：2022年4月9日
| 設備ID | NU-215 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > プラズマエッチング |
| 設備名称 | ECR-SIMSエッチング装置 (ECR-SIMS etching) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
| メーカー名 | 自作 (Lab made) |
| 型番 | |
| キーワード | Arイオンエッチング エンドポイント検出 |
| 仕様・特徴 | （ECRイオンガン：入江工研社製 RGB-114） ・マイクロ波入力150 W ・加速電圧600 V ・イオン照射径30mm （SIMS検出器：PFEIFFER社製 EDP400） ・分析質量1-512 amu ・試料角度調整，回転機構付き |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-215 |
