フェムト秒レーザー加工分析システム
| 設備ID | NU-211 |
|---|---|
| 分類 | 膜加工・エッチング > レーザー加工 |
| 装置名称 | フェムト秒レーザー加工分析システム (fs laser microfabrication and analysis system) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
| メーカー名 | 輝創 (Kisoh) |
| 型番 | UFL-Hybrid |
| キーワード | fsレーザ加工 時間分解磁気光学Kerr効果 |
| 仕様・特徴 | ・光源：1041 nm, 550 fs, 10 µJ ・高調波発生ユニット：40% @520 nm (加工ステーション) ・最大試料寸法：100 mm x 100 mm ・加工スポット：5 µmφ (分析ステーション) ・時間分解磁気分析 |
