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フェムト秒レーザー加工分析システム

最終更新日:2022年4月9日
設備ID NU-211
分類 膜加工・エッチング > レーザー加工
設備名称 フェムト秒レーザー加工分析システム (fs laser microfabrication and analysis system)
設置機関 名古屋大学
設置場所 先端技術共同研究施設
メーカー名 輝創 (Kisoh)
型番 UFL-Hybrid
キーワード fsレーザ加工
時間分解磁気光学Kerr効果
仕様・特徴 ・光源:1041 nm, 550 fs, 10 µJ
・高調波発生ユニット:40% @520 nm
(加工ステーション)
・最大試料寸法:100 mm x 100 mm
・加工スポット:5 µmφ
(分析ステーション)
・時間分解磁気分析
設備状況 稼働中
本設備の利用事例 https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-211
    フェムト秒レーザー加工分析システム
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