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ダイシングソー装置

設備ID	NU-210
分類	組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ
装置名称	ダイシングソー装置 (Dicing saw)
設置機関	名古屋大学
設置場所	先端技術共同研究施設
メーカー名	ディスコ (Disco)
型番	DAD522
キーワード	ダイシング
仕様・特徴	・最大ワークサイズ：Φ152.4 mm ・切削可能範囲（XY）： 220 mm×160 mm ・有効ストローク（Z）：27.2 mm ・回転角：380° ・アラインメント用対物レンズ：100倍