ダイシングソー装置
最終更新日:2023年6月29日
設備ID | NU-210 |
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分類 | 組立・パッケージング > ダイシング、スクライバ |
設備名称 | ダイシングソー装置 (Dicing saw) |
設置機関 | 名古屋大学 |
設置場所 | 先端技術共同研究施設 |
メーカー名 | ディスコ (Disco) |
型番 | DAD522 |
キーワード | ダイシング |
仕様・特徴 | ・最大ワークサイズ:Φ152.4 mm ・切削可能範囲(XY): 220 mm×160 mm ・有効ストローク(Z):27.2 mm ・回転角:380° ・アラインメント用対物レンズ:100倍 |
設備状況 | 稼働中 |
本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-210 |