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急速加熱処理装置

設備ID	NU-202
分類	熱処理・ドーピング > 熱処理、レーザーアニール
装置名称	急速加熱処理装置 (Rapid thermal annealing)
設置機関	名古屋大学
設置場所	先端技術共同研究施設
メーカー名	AG Associates (AG Associates)
型番	Heatpulse 610
キーワード	急速熱処理
仕様・特徴	・温度範囲：400～1200℃ ・昇温速度：200℃/sec