バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム
| 設備ID | NU-105 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > |
| 装置名称 | バイオ/無機材料用高速FIB-SEMシステム (High performance focused ion beam system （FIB-SEM)) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 超高圧電子顕微鏡施設 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | ETHOS NX5000 |
| キーワード | FIBによる試料加工 SEM観察 エネルギー分散型X線分光 |
| 仕様・特徴 | FIB-SEM FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS FIB, SEM 最大加速電圧：30kV |
