直交型高速加工観察分析装置
最終更新日：2023年6月29日
| 設備ID | NU-104 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > |
| 設備名称 | 直交型高速加工観察分析装置 (High performance focused ion beam system （FIB-SEM)) |
| 設置機関 | 名古屋大学 |
| 設置場所 | 超高圧電子顕微鏡施設 |
| メーカー名 | 日立ハイテクノロジーズ (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | MI4000L |
| キーワード | FIBによる試料加工 SEM観察 エネルギー分散型X線分光 |
| 仕様・特徴 | FIB-SEM 直交配置 FIB, SEM, STEM, Ar Gun, EDS FIB, SEM 最大加速電圧：30kV |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NU-104 |
