無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置
最終更新日：2024年11月12日
| 設備ID | NM-404 |
|---|---|
| 分類 | 微小加工装置 > イオンミリング（TEM試料作製） |
| 設備名称 | 無損傷電子顕微鏡試料薄片化装置 (Damage-less TEM specimen milling apparatus) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 超高圧電子顕微鏡特殊実験棟102号室 |
| メーカー名 | フィッシオーネ (Fischione) |
| 型番 | Model 1040 Nanomill |
| キーワード | 透過電子顕微鏡観察用薄膜試料の作製 |
| 仕様・特徴 | ・イオン：アルゴン ・イオンエネルギー：50～2000eV 可変 ・イオン電流：1mA/cm2 ・イオンビームサイズ：2μm |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-404 |
