TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置
最終更新日：2023年9月20日
| 設備ID | NM-403 |
|---|---|
| 分類 |
微小加工装置 > 集束イオンビーム（FIB） 走査型顕微鏡 > 走査型電子顕微鏡 |
| 設備名称 | TEM試料自動作製FIB-SEM複合装置 (FIB-SEM combined apparatus for automatic preparation of TEM specimens) |
| 設置機関 | 物質・材料研究機構 (NIMS) |
| 設置場所 | NIMS並木地区 無振動特殊実験棟 107号室 |
| メーカー名 | 日立ハイテク (Hitachi High-Tech) |
| 型番 | NX5000 |
| キーワード | フルオートTEM試料作製 低ダメージTEM試料 リモート操作 |
| 仕様・特徴 | ・FIB: Ga液体金属イオン源、加速電圧0.5－30kV、分解能4nm (30kV)、最大ビーム電流100nA ・SEM: 冷陰極電界放射型電子銃、加速電圧0.1－30kV、分解能0.7nm (15kV)、最大ビーム電流10nA ・低加速Arイオンビーム：加速電圧0.5－2kV、最大ビーム電流20nA |
| 設備状況 | 稼働中 |
| 本設備の利用事例 | https://nanonet.mext.go.jp/user_report.php?keyword=NM-403 |
